朗姆研讨公司请求电镀设备和办法专利将流体流通向用于再循环

  金融界2025年1月7日音讯，国家知识产权局信息数据显现，朗姆研讨公司请求一项名为“一种电镀设备和用于在衬底上电镀的办法”的专利，公开号CN 119243297 A，请求日期为2019年11月。

  专利摘要显现，本文中的实施方案触及将一或多种资料电镀至衬底上的设备和办法。本文中的实施方案在电镀槽中运用横流导管以将来自衬底与定坐落衬底邻近的具有通道的离子阻性板之间的区域的流体流通向向下至低于流体包容单元中的流体水平的水平，流体包容单元用于搜集来自电镀体系的溢流流体而进行再循环。横流导管可包括被切开至电镀槽的组件中的通道以答应转向流、或可包括可装置至现行电镀槽的可附接转向设备以使液流向下转向至流体包容单元。实施方案还包括活动限制器，其可所以用于在电镀期间调理横流导管中的流体流的板、或释压阀。